气体在化工、钢铁、半导体、电子、医疗、石油、食品等行业中应用极为广泛，种类多样，可分为一般气体、特殊气体及工业气体。在半导体制造中，氮气是用量最大、用途最广的气体之一，其不导电、冷却速度快的特性，使其既能在制程中保护设备，也能用于隔离危险气体或进行低温测试。
氮气供应系统在半导体厂的要求极为严苛，必须满足高洁净、高纯度和高度干燥等条件。其中，干燥度的控制尤为关键，通常会在气体输送系统中安装露点传感器，以实时监控氮气湿度是否达到工艺要求。
实际应用场景
半导体厂的氮气供应模式会根据用气规模、氮气生产厂距离以及厂区布局而有所不同，常见的有桶槽供气、钢瓶供气、管道供气和用气端供气等。无论采用哪种方式，氮气都需通过高压钢瓶或吸附式气体储存设备，经管路输送至现场阀箱进行流量与混合比例调节，再供给后端制程设备使用。
半导体制程中使用的氮气通常直接接触电子元件，纯度需达到 ppm 甚至 ppb 级别，洁净度需控制尘埃粒径小于 0.1～0.05 μm，干燥度则要求压力露点达到 -40℃～-60℃。
为确保氮气湿度达标，露点传感器常安装在气体进入冷冻干燥机前，或在晶圆烘烤工序前，以便精准监控运输过程中的露点值，保证极低湿度环境，从而提高制程良率。
恒歌露点变送器 HG602-D 介绍
恒歌 HG602-D 微型露点变送器专为极干燥环境设计，可在氮气等高纯度气体中实现快速、稳定、可重复的露点测量。其具备抗干扰、耐腐蚀、防污染的特性，体积小巧、集成度高，非常适合安装在空间受限的工业管道中。性能、品质、外观设计及使用寿命均达到进口高端产品水平，部分指标甚至超越，是一款极具性价比的露点监测设备。
主要参数
露点量程：-60~60°C(可设置，受环境因素影响)
精度：±2°C Td(空气中或氮气中)
信号输出：RS485 + 模拟量 0~5V/0~10V/4~20mA
耐压强度：16 bar
抗结露功能：探头加热干燥，确保测量准确
工作温度：-40~+60°C
功耗：<0.1W
供电电压：DC10V~30V(4-20mA 输出时建议 12V)
响应时间：约 65 秒(1m/s 风速)
出厂校准：出厂充分校准(特殊场景可定制)
数字分辨率：0.01°C/0.1°C 可选，0.01% RH/0.1% RH
通讯波特率：1200. 2400. 4800. 9600. 19200(默认 9600)
字节格式：8 位数据位，1 位停止位，无校验
在半导体行业，氮气纯度和洁净度直接影响制程质量。湿度控制不佳往往会导致产品缺陷，据行业统计，超过 25% 的工业不良品与低湿环境失控有关。在气体供应系统中安装露点变送器，不仅能实时监控湿气含量，还可结合制程数据优化反应物比例、减少不完全燃烧等问题，从而降低成本、提升安全性与生产效率。
